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簡(jiǎn)要描述:激光共聚焦顯微鏡配有奧林巴斯光學(xué)掃描儀。通過(guò)將采用電磁感應MEMS諧振掃描儀的X軸與采用Galvano掃描振鏡的Y軸相結合,能夠讓X-Y掃描儀定位于相對物鏡瞳鏡共軛的位置,因而能夠實(shí)現具有較低掃描軌跡失真和較小光學(xué)像差的X-Y掃描。
產(chǎn)品分類(lèi)
詳細介紹
激光共聚焦顯微鏡有奧林巴斯光學(xué)掃描儀。通過(guò)將采用電磁感應MEMS諧振掃描儀的X軸與采用Galvano掃描振鏡的Y軸相結合,能夠讓X-Y掃描儀定位于相對物鏡瞳鏡共軛的位置,因而能夠實(shí)現具有較低掃描軌跡失真和較小光學(xué)像差的X-Y掃描。
激光共聚焦顯微鏡高度測量原理
在測量高度時(shí),顯微鏡通過(guò)自動(dòng)移動(dòng)焦點(diǎn)位置獲取多個(gè)共焦圖像。根據非連續的焦點(diǎn)位置(Z)和檢測光強度(I)可以估算每個(gè)像素的光強變化曲線(xiàn)(I-Z曲線(xiàn)),并獲得其峰值位置和峰值強度。由于所有像素的峰值位置與樣品表面的不規則性相對應,因此可以獲得樣品表面的3D形狀信息。與此類(lèi)似,通過(guò)峰值強度數據可以獲得針對樣品表面所有位置焦點(diǎn)的圖像(擴展圖像)
產(chǎn)品咨詢(xún)
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